대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020230083061 (2023-06-27)
등록번호 / 일자	1026947300000 (2024-08-08)
발명자	성균관대학교산학협력단,중앙대학교 산학협력단
기술명	기판의 표면처리를 통한 박막 및 그의 제조방법

요약	본 발명의 일 실시예는 기판의 표면을 NH 기능기를 포함하는 화합물로 표면처리하여 박막의 품질을 향상시키는 박막 제조방법을 제공한다.

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