대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020220164398 (2022-11-30)
등록번호 / 일자	1027639860000 (2025-02-03)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법 및 갈륨-주석 산화물 복합 박막

요약	갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법 및 갈륨-주석 산화물 복합 박막이 개시된다. 상기 갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법은 주석(Sn)계 전구체 및 갈륨(Ga)계 전구체를 용액 상에서 혼합하는 제1 단계; 및 상기 용액을 기판 상에 1회 이상 도포 및 경화하는 제2 단계;를 포함할 수 있다.

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