대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020220030493 (2022-03-11)
등록번호 / 일자	1028177800000 (2025-06-02)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	자가배열이 용이한 마이크로칩, 이의 제조 방법, 마이크로칩 자가배열 방법 및 이를 구현하는 장치

요약

자가배열이 용이한 마이크로칩, 이의 제조 방법, 마이크로칩 자가배열 방법 및 이를 구현하는 장치가 개시된다. 상기 마이크로칩은 원통형의 베이스부; 및 상기 베이스부 상에 상기 베이스부와 동심으로 형성되고, 상기 베이스부의 직경보다 작은 직경을 가지는 원통형의 포스트부;를 포함할 수 있다. 상기 마이크로칩 제조 방법은 베이스 기판 및 상기 베이스 기판 상에 형성된 포스트 기판을 준비한 후, 상기 포스트 기판 상에 원형의 제1 마스크를 증착하는 제1 마스킹 단계; 상기 포스트 기판을 에칭한 후 상기 제1 마스크를 제거하여 포스트부를 형성하는 제1 에칭 단계; 상기 제1 마스크의 직경보다 더 큰 직경을 가지는 제2 마스크를 상기 베이스 기판 상에 상기 포스트부와 동심으로 증착하는 제2 마스킹 단계; 및 상기 베이스 기판을 에칭한 후 상기 제2 마스크를 제거하여 베이스부를 형성하는 제2 에칭 단계;를 포함할 수 있다. 상기 마이크로칩 자가배열 방법은 마이크로칩을 포함하는 잉크를 상기 마이크로칩과 상보적인 형태를 가지는 하우징을 포함하는 카트리지 상에 도포하는 제1 단계; 및 상기 마이크로칩이 상기 하우징의 상보적인 형태에 커플링되도록 상기 카트리지에 음파를 적용하는 제2 단계;를 포함할 수 있다. 상기 마이크로칩 자가배열 장치는 마이크로칩과 상보적인 형태를 가지는 하우징을 포함하는 카트리지부; 상기 카트리...(이하생략)

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