대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020220016604 (2022-02-09)
등록번호 / 일자	1026695090000 (2024-05-22)
발명자	성균관대학교산학협력단,중앙대학교 산학협력단
기술명	금속 산화물 반도체 박막, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 산화물 박막 트랜지스터

요약	본원은 칼코겐 음이온이 첨가된 금속 산화물을 포함하고, 상기 금속 산화물은 인듐, 주석, 아연, 카드뮴 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하는 것인, 금속 산화물 반도체 박막에 대한 것이다.

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