대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020210124129 (2021-09-16)
등록번호 / 일자	1025953800000 (2023-10-24)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	초균일 초박형 그래핀 옥사이드 박막 및 이의 제조 방법

요약

기판 예열과 저전력 저산소 플라즈마를 이용하는 초균일 초박형 그래핀 옥사이드 박막 및 이의 제조 방법이 개시된다. 상기 그래핀 옥사이드 제조 방법은, 그래핀 옥사이드를 에탄올이 포함된 용매에 희석하여 그래핀 옥사이드 현탁액을 준비하는 제1 단계; 상기 그래핀 옥사이드 현탁액을 기판 상에 분배한 뒤 예열하는 제2 단계; 상기 그래핀 옥사이드 현탁액을 코팅하는 제3 단계; 및 상기 그래핀 옥사이드가 코팅된 기판을 산소 플라즈마 처리하는 제4 단계;를 포함한다. 상기 그래핀 옥사이드 제조 방법에 의해 제조된 그래핀 옥사이드 박막은, 상기 박막 두께의 표준편차가 0.6nm 내지 0.8nm로, 초균일한 형태를 갖는다.

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