대학보유기술

중앙대학교에서 보유하고 있는 기술 입니다.
클릭 시 상세 정보 확인 및 상담신청이 가능합니다.

상담신청

보유기술정보
출원번호 / 일자	1020210081471 (2021-06-23)
등록번호 / 일자	1023235680000 (2021-11-02)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조 방법

요약	본 발명은 반도체 공정의 실링에 이용되는 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조방법에 대한 것으로서, 지르코니아 입자를 과불소알킬기로 개질하여 내열성 입자 충전제를 과불소 고무 원료에 균일하게 분산시킴으로써 고온 공정에서도 성능이 감소하지 않는 과불소고무 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

목록 상담신청