보유기술정보 | |
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출원번호 / 일자 | 1020210081471 (2021-06-23) |
등록번호 / 일자 | 1023235680000 (2021-11-02) |
발명자 | 중앙대학교 산학협력단 |
기술명 | 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조 방법 |
요약 | 본 발명은 반도체 공정의 실링에 이용되는 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조방법에 대한 것으로서, 지르코니아 입자를 과불소알킬기로 개질하여 내열성 입자 충전제를 과불소 고무 원료에 균일하게 분산시킴으로써 고온 공정에서도 성능이 감소하지 않는 과불소고무 및 이의 제조방법에 관한 것이다. |
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