대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020190094840 (2019-08-05)
등록번호 / 일자	1022790940000 (2021-07-13)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	이송판 및 이를 이용한 마이크로 소자의 배열 방법

요약	본 발명은 본 발명은 특정 설계된 이송판 및 이를 이용한 마이크로 소자의 배열 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시예를 따르는 이송판은 마이크로 소자가 배열되는 복수의 음각패턴; 및 상기 복수의 음각패턴 각각에 배치되고, 상기 음각패턴 내에 음압 또는 양압을 걸어주기 위한 홀;을 포함한다.

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