보유기술정보 | |
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출원번호 / 일자 | 1020180118047 (2018-10-04) |
등록번호 / 일자 | 1021648610000 (2020-10-06) |
발명자 | 중앙대학교 산학협력단 |
기술명 | 요철 구조를 포함한 이종접합 산화물 반도체 구조체 및 이의 제조 방법 |
요약 | 본 발명은 요철 구조를 포함한 이종접합 산화물 반도체 구조체에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 이러한 요철 구조를 포함한 이종접합 산화물 반도체 구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 요철 구조를 포함한 이종접합 산화물 반도체 구조체는, 제 1 산화물 반도체층(10); 및 제 1 산화물 반도체층 상에 배치된 제 2 산화물 반도체층(20)을 포함한다. |
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다빈치캠퍼스 : 17546 경기도 안성시 대덕면 서동대로 4726