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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020180117746 (2018-10-02)
등록번호 / 일자	1021380040000 (2020-07-21)
발명자	연세대학교 산학협력단,중앙대학교 산학협력단
기술명	능동형 유기 발광 소자 디스플레이 장치 및 이의 제조방법

요약

본 발명은 능동형 유기 발광 소자 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 개시한다. 캐리어(carrier)층 상에 희생층을 형성하는 단계, 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계, 플렉서블 기판 상에 제1 절연층을 형성하는 단계, 제1 절연층 상에 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인(backplane)을 형성하는 단계, 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인 상에 캡핑층을 형성한 후 오프닝부를 형성하는 단계 및 오프닝부에 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인과 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 능동형 유기 발광 소자 유닛을 형성하는 단계를 포함하고, 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인을 형성하는 단계는 플렉서블 기판 상에 제1 절연층을 형성하는 단계, 제1 절연층 상에 서로 이격되는 소스/드레인 전극을 형성하는 단계, 플렉서블 기판의 채널영역 및 상기 소스/드레인 전극 상에 전이금속 칼코겐 화합물을 포함하는 채널층을 형성하는 단계, 채널층 상에 제2 절연층을 형성하여 상기 채널층을 도핑하는 단계 및 제2 절연층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 적어도 하나의 전이금속 칼코겐 화합물 기반의 백플레인은 상기 도핑에 의하여 상기 채널영역이 전자도핑되고, 상기 소스/드레인 전극과 채널층의 접촉부가 전자도핑되는 것을 특징으로 한다.

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