대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020180106574 (2018-09-06)
등록번호 / 일자	1021589750000 (2020-09-17)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	마이크로 소자 어레이 기판 및 이의 제조방법

요약	본 발명은 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자 및 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자와 대응되는 음각 패턴이 배열된 기판; 을 포함하며, 상기 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 일부분이 에칭된 형태이며, 전면 및 후면이 서로 구분되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 어레이 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

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