대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020170095560 (2017-07-27)
등록번호 / 일자	1019636980000 (2019-03-25)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	자외선 조사 및 열처리를 이용한 산질화물 박막 트랜지스터의 제조 방법

요약	산질화물 박막 트랜지스터의 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 산질화물 박막 트랜지스터의 제조 방법은, 기판에 산질화물을 포함하는 박막을 증착하는 단계; 상기 산질화물 박막에 UV를 조사하는 단계; 및 상기 산질화물 박막에 열처리를 하는 단계를 포함하되, 상기 UV를 조사하는 단계와 상기 열처리를 하는 단계를 통해, 상기 산질화물 박막에서 서브 갭 결함을 발생시키는 금속-질소 결합을 줄임으로써, 상기 산질화물 박막의 전계 효과 이동도를 증가시키는 것을 특징으로 한다.

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