대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020160162574 (2016-12-01)
등록번호 / 일자	1018763680000 (2018-07-03)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	극저온 공정을 이용한 용액형 산화물 박막의 제조 방법, 산화물 박막 및 이를 포함하는 전자소자

요약	본 발명의 일 실시예에 의한 극저온 공정을 이용한 용액형 산화물 박막의 제조 방법은 금속 나노클러스터 전구체를 형성하는 단계, 상기 금속 나노클러스터 전구체를 이용하여 산화물 용액을 형성하는 단계, 상기 금속 나노클러스터 전구체가 포함된 산화물 용액을 기판 상에 코팅하는 단계 및 불활성 가스 분위기 하에서 상기 코팅된 산화물 용액에 자외선을 조사하여 산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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