대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020160003832 (2016-01-12)
등록번호 / 일자	1018484810000 (2018-04-06)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자

요약	본 발명은 산화물 박막 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막, 및 그 전자소자에 관한 것이다. 본 발명은 저온 용액 공정으로 고성능의 기능성 산화물 박막을 용이하고 빠른 속도로 형성 할 수 있어 제조비용 및 제조시간을 대폭 단축하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

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