보유기술정보 | |
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출원번호 / 일자 | 1020150145102 (2015-10-19) |
등록번호 / 일자 | 1017350730000 (2017-05-04) |
발명자 | 중앙대학교 산학협력단 |
기술명 | 광 센서 소자 및 그 제조 방법 |
요약 | 본 발명은 광 센서 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 유기물 박막 및 무기물 박막이 일체형(Monolithic)으로 결합된 이종 박막을 포함한 광 센서 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유기물 박막과 무기물 박막이 일체화된 이종 박막을 형성할 때 자외선 조사를 통하여 선택적으로 유기물 박막을 패터닝하여 동작 성능이 우수하고 신뢰성이 높은 광 센서 소자를 제조할 수 있다. |
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다빈치캠퍼스 : 17546 경기도 안성시 대덕면 서동대로 4726