대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020150145102 (2015-10-19)
등록번호 / 일자	1017350730000 (2017-05-04)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	광 센서 소자 및 그 제조 방법

요약	본 발명은 광 센서 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 유기물 박막 및 무기물 박막이 일체형(Monolithic)으로 결합된 이종 박막을 포함한 광 센서 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유기물 박막과 무기물 박막이 일체화된 이종 박막을 형성할 때 자외선 조사를 통하여 선택적으로 유기물 박막을 패터닝하여 동작 성능이 우수하고 신뢰성이 높은 광 센서 소자를 제조할 수 있다.

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