보유기술정보 | |
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출원번호 / 일자 | 1020150143713 (2015-10-14) |
등록번호 / 일자 | 1018156270000 (2017-12-29) |
발명자 | 중앙대학교 산학협력단 |
기술명 | 공진기 센서 |
요약 | 본 발명은 공진기 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다각형 공진기 센서에 관한 것이다. 본 발명은 작은 사이즈로 설계가 가능하고, 뛰어난 재현성과 향상된 민감도를 가지며, 소멸파를 이용한 결합 방식이 아닌 광 결합 방식을 이용하여 공정 오차에 덜 민감하여 제작 시 소자의 성능 편차가 심하지 않아 상업화에 유리하다. |
서울캠퍼스 : 06974 서울특별시 동작구 흑석로 84
다빈치캠퍼스 : 17546 경기도 안성시 대덕면 서동대로 4726