대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020150006077 (2015-01-13)
등록번호 / 일자	1015840710000 (2016-01-05)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	기판 고정용 홀더 및 박막 제조 장치

요약

본 발명은 기판 고정용 홀더 및 박막 제조 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 박막 제조 장치는, 일방향 축선을 기준으로 하여 회전되고, 상면에 각각 수용액이 수용되어 있는 복수의 용기들이 놓여지는 회전플랫폼; 상기 수용액과 반응으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판이 고정되고, 상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 상기 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 상하방향으로 승강되는 홀더; 및 상기 회전플랫폼의 회전 및 상기 홀더의 승강 동작을 전기적인 신호에 기초하여 제어하는 제어장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

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