대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020140030025 (2014-03-14)
등록번호 / 일자	1015906950000 (2016-01-26)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	정렬된 포어를 가지는 열전 박막 및 그 제조방법, 그리고 이를 가지는 열전 소자

요약	본 발명의 일 양태에 의하면, 정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법이 제공된다. 상기 제조방법은, 기판에 구형 구조물들을 단층으로 적층하는 단계; 상기 구형 구조물들의 사이즈를 축소시키는 단계; 상기 축소된 구형 구조물들이 적층된 기판 상에 열전(thermoelectric) 물질을 증착시키는 단계; 및 상기 구형 구조물들을 제거하는 단계;를 포함한다.

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