대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020120137532 (2012-11-30)
등록번호 / 일자	1014562370000 (2014-10-23)
발명자	한국전자기술연구원,중앙대학교 산학협력단
기술명	저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자

요약	저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법 및 그 전자소자의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 산화물 박막 제조방법은 산화물 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와 불활성 가스 분위기 하에서 상기 코팅된 산화물 용액에 자외선 조사하는 단계를 포함한다.

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