대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020120050778 (2012-05-14)
등록번호 / 일자	1013645930000 (2014-02-12)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	그래핀 필름의 패터닝 방법

요약

본 발명은 그래핀 필름의 패터닝 방법에 관한 것으로, 하나의 예로서, 그래핀이 코팅된 제1 기판과 패턴화된 접착층이 형성된 제2 기판을 합지하되, 제1 기판 상의 그래핀과 제2 기판 상에 패턴화된 접착층이 대면하도록 합지하는 단계; 및 합지된 제1 기판과 제2 기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 제1 기판 및 제2 기판에 플라즈마를 처리함으로써 높은 접착력을 통해 패턴의 질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 그래핀 패터닝 방법은 1 싸이클의 그래핀 패터닝 과정을 통해, 2 개의 그래핀이 패터닝된 기판을 얻을 수 있고, 추가적인 식각 및 후처리 공정이 필요하지 않아 공정 시간 단축 및 공정 비용을 절감할 수 있다.

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