대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020120019547 (2012-02-27)
등록번호 / 일자	1015127490000 (2015-04-10)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	황화주석 박막 형성용 전구체 및 그의 제조 방법

요약

본 발명은 하기 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 하나 이상의 구조를 포함하는 전구체 및 이를 이용한 황화주석 박막의 제조방법에 관한 것이다. [화학식 1] 화학식 1에서, R 1 내지 R 4 는 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다. [화학식 2] 화학식 2에서, R 5 내지 R 9 는 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기이다. 화학식 3의 구조를 포함하는 황화주석 박막 형성용 전구체; [화학식 3] 화학식 3에서, R 10 내지 R 12 는 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기이고, n은 1 내지 4의 정수이다.

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