대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020080056769 (2008-06-17)
등록번호 / 일자	1009829720000 (2010-09-13)
발명자	중앙대학교 산학협력단,재단법인서울대학교산학협력재단
기술명	ZnO 박막 제조용 전구체 및 이를 이용한화학기상증착법에 의한 ZnO 박막의 제조 방법

요약	본 발명은 ZnO 박막 제조용 전구체 및 이를 이용한 화학기상증착법에 의한 ZnO 박막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 ZnO 박막 제조용 전구체는 하기 화학식 1의 구조를 가진다. (상기 식에서, R은 C 1 내지 C 4 의 직쇄 또는 분쇄의 알킬기이다) 본 발명의 ZnO 박막 제조용 전구체 화합물을 이용하면 ZnO 박막 증착 공정을 500℃ 이하의 낮은 온도에서도 수행할 수 있으며, 원하는 곳에 ZnO 박막을 용이하게 형성할 수 있다. Zn0 박막

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