대학보유기술

중앙대학교에서 보유하고 있는 기술 입니다.
클릭 시 상세 정보 확인 및 상담신청이 가능합니다.

상담신청

보유기술정보
출원번호 / 일자	1020070051633 (2007-05-28)
등록번호 / 일자	1008937440000 (2009-04-09)
발명자	중앙대학교 산학협력단,삼성전자주식회사,재단법인서울대학교산학협력재단
기술명	칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법

요약

본 발명은 칼코겐화합물 반도체 박막을 형성하기 위해 사용되는 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에서는 Ⅲ x Ⅲ' 1-x -Ⅵ, Ⅲ-Ⅵ y Ⅵ' 1-y 또는 Ⅲ x Ⅲ' 1-x -Ⅵ y Ⅵ' 1-y 와 같이 3족 금속원소와 칼코겐 원소의 조성비가 1:1인 합금형태의 화합물 박막(여기서, x,y 0.5), 특히 3원 화합물인 I-Ⅲ-Ⅵ 2 족 화합물을 모체로 하는 4원 화합물, 즉 I-Ⅲ x Ⅲ' 1-x -Ⅵ 2 , I-Ⅲ-(Ⅵ y Ⅵ' 1-y ) 2 또는 I-Ⅲ x Ⅲ' 1-x -(Ⅵ y Ⅵ' 1-y ) 2 박막(여기서, x,y 0.5) 등과 같은 합금형태의 화합물 박막의 제조에 유용하게 사용될 수 있는 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법을 제공한다.

목록 상담신청