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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020060108579 (2006-11-03)
등록번호 / 일자	1008399690000 (2008-06-13)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	마이크로 공진기 센서

요약

마이크로 공진기 센서가 개시된다. 주도파로는 광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하며, 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합영역을 갖는다. 공진도파로는 주도파로의 광결합영역과 광결합되어 주도파로로부터 분기된 분기광신호를 입력받는 광결합영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성된다. 또한 공진도파로를 구성하는 광도파로들 중에서 적어도 하나의 광도파로에는 개구부가 형성된다. 광경로변경수단은 공진도파로를 형성하는 각각의 광도파로가 접하는 꼭지점 영역에 설치되어 공진도파로로 입력된 분기광신호의 적어도 일부를 반사시켜 분기광신호가 공진도파로 내를 주회하도록 한다. 본 발명에 따르면, 전반사미러를 이용하여 공진기를 구성함으로써, 과도 방사 손실없이 마이크로 공진기 센서를 초소형으로 제작할 수 있고, 전체 소자를 동일한 웨이퍼에 집적할 수 있어 온칩으로 제작이 가능하여 휴대용 단말기에 적용될 수 있는 초소형 광센서 모듈의 생산이 가능하다. 공진기, 센서, 광신호, 레이저 다이오드, 포토 다이오드

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