대학보유기술

중앙대학교에서 보유하고 있는 기술 입니다.
클릭 시 상세 정보 확인 및 상담신청이 가능합니다.

상담신청

보유기술정보
출원번호 / 일자	1020060046739 (2006-05-24)
등록번호 / 일자	1007695660000 (2007-10-17)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법, 장치 및 이를 위한기록매체

요약

본 발명은 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법, 시스템 및 이를 위한 기록매체에 관한 것으로 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 박막의 두께를 측정하는 방법에 있어서, (a) 스펙트로미터가 산출하는 하나 이상의 레퍼런스 물체에 대한 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 수집하는 단계; (b) 상기 수집된 레퍼런스 반사도 스펙트럼을 미리 설정된 패턴 수로 샘플링하는 단계; (c) 상기 샘플링된 데이터를 이용하여 미리 설정된 층으로 구성되는 신경망을 학습하는 단계; 및 (d) 상기 학습된 신경망을 이용하여 시료의 박막 두께를 추론하는 단계를 포함하는 신경망을 이용한 박막 두께 측정 방법이 제공된다. 본 발명에 따르면 신경망을 이용하여 박막 측정 오차를 최소화할 수 있는 장점이 있다. 박막, 반사도, 스펙트럼, 신경망, 학습, 가중치, 샘플링, 노드

목록 상담신청