대학보유기술

중앙대학교에서 보유하고 있는 기술 입니다.
클릭 시 상세 정보 확인 및 상담신청이 가능합니다.

상담신청

보유기술정보
출원번호 / 일자	1020050038238 (2005-05-07)
등록번호 / 일자	1006796400000 (2007-01-31)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	13족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 화학증기증착용 전구체, 그의 제조방법 및 상기 전구체를 이용한 칼코겐화물 박막

요약	본 발명은 화학증기증착법(Chemical Vapor Deposition, 이하 CVD라고 함)으로 인듐을 포함하는 13족(Ga, In, Tl)의 황(S)화물 및 셀레늄(Se)화합물 박막 제조시 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 화합물 전구체 및 그의 제조방법과 13족 칼코겐화합물 및 이들의 혼합물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하기 화학식 1의 단일 전구체를 사용하여 저온에서 13족 금속과 칼코겐(S, Se)원소의 조성이 2:3인 황화물 박막을 제공한다. 화학증기증착법, 유기금속 화합물 전구체, 칼코겐

목록 상담신청