대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020040048305 (2004-06-25)
등록번호 / 일자	1006543860000 (2006-11-29)
발명자	중앙대학교 산학협력단
기술명	나노 정보소자 및 그 제조방법

요약

본 발명은 나노미터 영역 정보소자 구조 및 제작 공정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 콩깍지 모양으로 나노미터 영역의 갭을 가지는 나노튜브(Carbon Nanopeapod)를 이용하여 내부에 들어있는 플러렌(Fullerene) 및 엔도-플러렌(Endo-Fullerene)들의 위치를 외부 전계(external electric field)에 의하여 조절함으로써 플러렌 및 엔도-플러렌의 위치에 따라서 전기전자 정보저장소자로 활용할 수 있도록 하는 공정 방법 및 그에 따른 나노정보저장소자 및 나노스위칭소자 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 특히 기판위에 콩깍지 모양 나노튜브를 일정하게 배열하고, 이후 연속적으로 이어지는 몇 차례의 마스킹, 리소그래피, 증착 및 에칭 공정들을 통하여 플러렌 또는 작은 나노튜브가 두 나노튜브 사이를 왕복하는 구조로 제작함으로써 나노영역에서 전기전자 정보저장소자로 뿐만 아니라 스위칭 소자로도 사용될 수 있게 하는 구조를 가지는 것이다. 또한 콩깍지 모양 나노튜브를 그 자체로 활용하여 나노전기전자소자로 이용하기보다는 콩깍지 모양 나노튜브에 기술적 적용을 통하여 변형된 형태로 이용하도록 하는 효과가 있다.

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