대학보유기술

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보유기술정보
출원번호 / 일자	1020000040028 (2000-07-12)
등록번호 / 일자	1003544320000 (2002-09-13)
발명자	유재수
기술명	액적열분해법에 의한 구형 실리카의 제조방법

요약

본 발명은 액적열분해법에 의한 구형 실리카의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 액적열분해법에 의한 구형 실리카의 제조방법은, TEOS와 탈이온수 및 질산을 혼합한 원료액을 준비하는 단계, 상기 원료액을 액적 상태로 전환하는 단계, 상기 액적 상태의 원료액을 가열하여 열분해하는 단계 및 상기 열분해된 상기 원료액을 포집하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서, 저비용으로 액저열분해법을 이용하여 반도체 EMC의 충진제로 사용하기에 적합한 수 ㎛ 미만의 구형 실리콘을 대량으로 합성 생산할 수 있는 효과가 있다. 액적, 열분해, 구형, 실리카

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